激光与红外

作者：黄志成

单位：1.北京科技大学 动化学院,北京 100083；2.北京科技大学,北京市工业波谱成像工程技术研究中心,北京 100083；3.北京科技大学,工业过程知识自动化教育部重点实验室,北京 100083；4.深圳市城市公共安全技术研究院有限公司,广东 深圳 518046；5.深圳中广核工程设计有限公司,广东 深圳 518031；6.核电安全监控技术与装备国家重点实验室,广东 深圳 518031；

关键词：光纤传感器;真空微负压测量技术;低成本制备;光纤FP腔

基金：国家重点研发计划项目(No.2024YFC3015200)；国家自然科学基金青年基金项目(No.62105020)；深圳市科技计划项目(No.KJZD20231023093057005)；中央高校基本科研业务费项目(No.00007753)资助。

真空度的微小变化会对航空航天、半导体制造、医疗器械等领域产生严重影响。光纤真空微负压传感器以其因此,研究一种高精度、高灵敏度、抗环境干扰的真空微负压传感器具有重要的实际意义。但是,光纤传感器的成本仍然成为阻碍其进一步应用的主要原因。针对诸多领域对低成本、尺寸小巧、高可靠性、制备工艺简单的真空微负压传感探头的巨大需求,本文展示了一种基于光纤法布里-珀罗干涉仪(Fabry Perot Interferometer,FPI)真空微负压传感探针。基于单模光纤(Singlemode fiber,SMF)-空芯光纤(Hollow core fiber,HCF)-无芯光纤(No core fiber,NCF)级联结构的FPI光纤微负压传感探针采用定长切割工艺和光纤研磨工艺进行制备,其低光纤成本、工艺简单和高制备效率等特性为其应用于多种领域奠定基础。本文制备的真空微负压光纤传感器样品的灵敏度达到5.07 pm/kPa。本文提出的低成本、工艺简化解决方案为光纤微负压传感器商业化指明了方向。

来源：2026年第2期

《激光与红外》期刊编辑部

查看激光与红外杂志2026年第2期