激光与红外

作者：李忠贺

单位：1.中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；2.火箭军装备部驻北京地区第六军事代表室,北京 100074；

关键词：锑化铟;小像元;红外焦平面

本文通过小尺寸低噪声读出电路设计研究、小间距锑化铟焦平面台面阵列制备、读出电路二次加工和倒装互连等关键工艺技术研究,制备了10μm像元中心间距,1280×1024阵列规格的锑化铟红外焦平面探测器组件,并对制备的探测器组件进行了性能测试,组件NETD达到211mK,有效像元率达到9985,响应率非均匀性达到331,并耦合光学系统,实现了演示成像。

来源：2025年第12期

《激光与红外》期刊编辑部

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