激光与红外

作者：宁提

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：锑化铟;第三代红外探测器;1280×1024;10μm;倒装互连

第三代InSb红外探测器主要以更大面阵规格和更小像元间距为发展方向。本文介绍了中国电科十一所在InSb 1280×1024中波红外探测器的研制进展。通过优化InSb器件的PN结浓度、设计小尺寸低噪声读出电路、突破大面阵InSb混成芯片工艺,成功研制出25μm、15μm、和10μmInSb 1280×1024中波红外探测器组件。更大的阵列规模以及更小的像元间距满足了光电系统高分辨、小型化、低功耗的要求。这三款探测器可以用于制导、导弹预警、7×24 h安全监控等领域。

来源：2025年第9期

《激光与红外》期刊编辑部

查看激光与红外杂志2025年第9期