激光与红外

作者：范叶霞

单位：中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；

关键词：碲锌镉晶锭;退火技术;异位;性能改进

针对高性能碲镉汞探测器对碲锌镉衬底性能需求的不断提升,采用高温-真空退火方式对碲锌镉晶锭进行异位退火改性研究。结果发现,经过高温-真空退火处理的晶体中的第二相夹杂得到极大地改善,第二相夹杂尺寸和数量均减小,可实现大于5μm的第二相夹杂的去除,夹杂密度小于1×103cm-2；Zn组分分布均匀性得到明显地改善,特别是组分异常线情况的改善,退火后晶片中无圆弧状组分异常线出现；通过退火分压的调节,可实现晶体中Zn组分可调和Zn值的组分均匀分布,成分标准偏差可控制在0001～0002范围内,此参数可与定向生长的Zn值分布均匀性相媲美。但不同退火工艺对碲锌镉晶体的红外透过率存在影响,会导致长波波段红外透过率下降,不能满足长波和甚长波红外探测器对衬底的要求,通过退火技术二次改进,最终实现了25～25μm全波段红外透过率≥65,同时夹杂尺寸和密度未发生明显改变。

来源：2025年第9期

《激光与红外》期刊编辑部

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