激光与红外

作者：李军利

单位：1.联合微电子中心有限责任公司 重庆 410000；2.重庆大学 材料科学与工程学院,重庆 400044；

关键词：微测辐射热计;8μmMEMS像元设计;超表面结构;吸收率;热响应时间

针对微测辐射热计小像元在设计中热响应时间长、探测灵敏度低等难以解决的问题,提出并设计了一款小线宽、快速响应、高吸收率微测辐射热计像元结构。通过超表面结构和局部伞面的设计提高了其红外辐射吸收,进而提升其探测灵敏度,通过两侧伞面降低了其热响应时间。并对其热响应时间进行了理论计算和仿真分析。最终得到微测辐射热计像元在8～16μm波段的平均吸收率968,NETD约55mK,热响应时间仅38ms。其综合指标达到了209mK·ms。

来源：2025年第6期

《激光与红外》期刊编辑部

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