激光与红外

作者：张磊

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：锑基;高工作温度;640×512;红外探测器

提高红外探测器的工作温度,可以降低探测器对制冷量的需求,从而减小制冷机和杜瓦结构体积,实现探测器的小型化。本文介绍了华北光电技术研究所高工作温度红外探测器研制情况,通过开展超晶格材料结构设计、器件制备工艺、小型化制冷机等关键技术研究,研制出像元间距15μm的锑基II类超晶格中波640×512探测器,工作温度达到140K,量子效率达到61,有效像元率达到998以上,NETD≤20mK,探测器性能与80K条件下碲镉汞探测器相当,成像效果良好。

来源：2025年第5期

《激光与红外》期刊编辑部

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