激光与红外

作者：邢志韬

单位：中电科光电科技有限公司,北京 100015；

关键词：碲镉汞离子束;沉积薄膜技术;孔内沉积;电极剥离

缩小像元间距是提升红外探测器性能的重要方向之一,像元尺寸的减小在红外探测器提高分辨率、降低制造成本、减小发热量、降低功耗等方面有着重要作用。电极作为连接碲镉汞芯片与外部读出电路的桥梁,决定了器件的性能与可靠性。但是在小间距红外探测器的电极制备过程中经常出现剥离困难、电极覆盖情况差等现象,本文分析离子束沉积中角度、温度等条件对电极生长的影响,结果表明升高沉积温度使沉积的金属膜层与HgCdTe附着力变得更好,沉积温度越高,侧壁覆盖越好。沉积角度越接近45°,侧壁越薄,较薄的侧壁电极可以使得剥离工艺难度更低,降低孔内电极侧壁脱落的几率接触。同时沉积角度也是控制生长薄膜的粗糙度的重要参数,改变沉积角度可以得到粗糙度更低的金属膜层。在沉积温度为T0+40℃,沉积角度为45°的条件下,成功制备了易于剥离、粗糙度低、附着力好的孔内电极结构,提高了碲镉汞红外器件性能。

来源：2025年第4期

《激光与红外》期刊编辑部

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