激光与红外

作者：杨文博

单位：中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015；

关键词：InSb;晶体生长;模拟;直拉法

计算机模拟仿真技术是提升直拉法生长的大直径InSb单晶质量、降低晶体制备成本的有效工具。现在市面上投入使用的模拟仿真软件种类众多,而用于InSb晶体生长的模拟案例很少。通过对已有使用案例的分析可以获知各型软件的特点,分析对比各自的优缺点和适用的生长方法,结合InSb晶体生长特性来选择最适合用于InSb直拉法生长的模拟软件。

来源：2024年第12期

《激光与红外》期刊编辑部

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