国内刊号:11-2436/TN
国际刊号:1001-5078
发布日期:
作者:龚志红
单位:华北光电技术研究所,北京 100015;
关键词:IRFPA;电极材料;物理特性;厚度
针对红外探测器芯片使用的电极体系展开了调研,虽然国内、外很多红外探测器生产厂商、科研院所都公布了各自的电极体系,但是对于电极的设计很少有人提及,对于电极体系中各层薄膜的厚度设计更是鲜见。本文通过对常用电极材料的物理特性分析,设计了一种电极体系。验证试验结果表明这种电极体系未对器件性能造成影响,可以满足器件的可靠性要求。
来源:2024年第7期
《激光与红外》期刊编辑部