激光与红外

作者：林正煜

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关键词：光学设计;双远心系统;大面阵;检测

基金：国家自然科学基金项目(No.61704142)；厦门理工学院校企合作项目(No.ZKHX201216；No.ZKHX22067)；厦门理工学院攀登计划基金项目(No.XPDKT19005)资助。

针对芯片在塑封工艺中的表面缺陷检测,设计一款大面阵高分辨率三变倍双远心光学系统。通过远心理想模型分析和像差优化,得到一款大视场、高精度、可变倍、低畸变的双远心光学系统。该系统采用6500W像素的大面阵工业相机,由13片球形透镜组成,工作波长在可见光范围内,F数为7,放大倍率为-0305x、-0427x和-0500x,系统总长小于362mm。设计结果表明,不同倍率下的全视场调制传递函数在奈奎斯特频率156 lp/mm处都大于01,最大畸变不超过02,物方远心度小于02°,该光学系统成像质量良好,在工业表面缺陷检测光学设计领域有着一定的参考价值。

来源：2024年第5期

《激光与红外》期刊编辑部

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