激光与红外

作者：吴子博

单位：1.长春电子科技学院光电信息科学与工程学院,吉林 长春 130061；2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033；3.中国科学院大学大珩学院,北京 100049；4.吉林大学物理学院,吉林 长春 130015；5.郑州大学物理学院微电子学院,河南 郑州 450001；

关键词：半导体激光器;电极失效;欧姆接触

基金：国家自然科学基金项目(No.61904179)；长春市科技发展计划项目重点研发计划项目(No.21ZGG13)；中国科学院长春光学精密机械与物理研究所科创计划项目资助。

大功率半导体激光器具有体积小、重量轻、转换效率高等优势,在工业加工、军事国防、医疗美容等各个领域具有广泛的应用。然而,大功率半导体激光器仍然受到电极失效的影响,导致其可靠性下降,使用寿命变短。本文首先阐述了大功率半导体激光器电极的失效机理；其次,介绍了电极的制备与欧姆接触评估方法,以及电极的失效分析手段方法,最后归纳了欧姆接触工艺的改良方法。在本文研究过程当中,归纳总结了目前学者们对于欧姆接触不良研究的相关进展,对进一步解决电极失效,提高大功率半导体激光器的可靠性具有重要的意义。

来源：2023年第5期

《激光与红外》期刊编辑部

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