激光与红外

作者：孙琪

单位：长春电子科技学院,吉林 长春 130052；

关键词：长波红外;锥镜;减反射膜;膜层均匀性

基金：国家自然科学基金项目(Nos.11947060)资助。

红外探测因全天候、作用距离远和抗干扰性好等优点而被广泛应用。本文提出在锥镜上制备8～12μm反射率小于05的长波红外减反射膜,利用Essential Macleod软件,在ZnS基片上完成了长波红外减反射膜的膜系设计。采用物理气相沉积方法,选择n=43 @10μm的Ge做基片和镀膜材料的粘结层,n=22 @10μm的ZnS为高折射率材料,n=135 @10μm的YF3为低折射率材料,完成了光学薄膜的制备。提出锥镜膜厚均匀性的补偿方法,通过使用修正后的补偿挡板,使10°锥镜薄膜厚度均匀性达到99。利用Lamda1050光谱仪测试了锥镜的反射光谱曲线和薄膜厚度均匀性测试曲线,结果表明所研制的膜层在8～12μm处反射率均值为1483,对试验件开展了环境适应性测试,测试结果满足使用要求。

来源：2023年第4期

《激光与红外》期刊编辑部

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