激光与红外

作者：刘世光

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：甚长波;碲镉汞;注入区

在碲镉汞甚长波320×256探测器上制备了不同注入区光刻尺寸的区域,通过对不同区域的信号及注入光刻尺寸的关系进行分析对比和数据拟合,获得了不同温度下的扩散距离和单位有效光敏面积在单位时间的响应电压,对于碲镉汞甚长波探测器的器件版图设计和性能提升提供了可靠的数据支撑。

来源：2022年第9期

《激光与红外》期刊编辑部

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