激光与红外

作者：李雄飞

单位：1.南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210000；2.无锡市德科立光电子技术股份有限公司,江苏 无锡 214000；3.江苏集萃深度感知技术研究所有限公司,江苏 无锡 214000；

关键词：硅波导;单模光纤;硅微透镜;耦合;集成

硅光集成的优势在高速光电子领域不断凸显,被广泛应用于各种通信场景中。在硅基集成技术发展过程中,其面临的一个典型技术难点是硅波导与单模光纤的耦合。本文设计了波导边缘集成的硅微透镜结构,经BPM法(Beam Propagation Method)计算验证该结构可实现3μm厚SOI波导与纤芯直径86μm单模光纤90的近场耦合效率,具备高集成度、高耦合效率、多场景适用等优点。

来源：2022年第9期

《激光与红外》期刊编辑部

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