激光与红外

作者：朱大勇

单位：1.上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093；2.苏州慧利仪器有限责任公司,江苏 苏州215123；3.苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏 苏州 215009；

关键词：透射波前;激光干涉仪;光学系统;Zernike系数

基金：国家重点研发计划项目(No.2016YFF0101903)资助。

基于多波长波前检测技术的实际需要,设计了多波长激光干涉仪光学结构。结构基于菲索干涉原理,使用分光棱镜集成5个波长的激光光源。通过笼式系统减小了光学结构各部分的同轴误差,采用消色差镜头作为干涉系统的准直系统和成像系统,缩短了调整准直系统行程的同时,也减小了系统内部光学系统的色差。使用该光学结构对光学系统进行测量,采用转换多项式法计算的Zernike系数-波长曲线符合预测结果。多波长激光干涉仪光学结构提高了多波长透射波前的检测效率,有利于多波长透射波前检测技术的工程化和推广,并为新仪器的开发提供了借鉴。

来源：2022年第7期

《激光与红外》期刊编辑部

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