激光与红外

作者：盛渤轩

单位：1.北京信息科技大学,北京 100192；2.中国科学院微电子研究所,北京 100029；

关键词：外焦平面探测器划片;飞秒激光加工;测高随动控制

基金：北京市自然科学基金项目资助。

针对红外焦平面探测器在新型飞秒激光加工方式上的焦点精确控制需求,建立一套合理高效的飞秒激光快速响应测高随动控制系统,在保证飞秒激光稳定测高、精准控制的基础之上,对其中两个关键点进行深入研究。利用测高仪测量与中值滤波法对测量数据进行优化拟合,降低了曲线失真的程度；通过控制器位置触发方式与PI控制算法优化了压电陶瓷(PZT)的随动精度。实验结果表明,此系统能够获得良好的效果:针对不同尺寸晶圆,可以获得当以800mm/s速度加工时,整体随动方差为06μm,最大误差为11μm；当以速度1000mm/s加工时,整体随动方差为09μm,最大误差为14μm。本方法可以极大地提高飞秒激光高速加工时的焦点控制精度,从而保证红外焦平面探测器划片边缘质量,增加产品良率,降低成本。

来源：2022年第5期

《激光与红外》期刊编辑部

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