激光与红外

作者：高达

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：碲锌镉;碲镉汞;分子束外延

针对高质量、大规模碲镉汞红外焦平面探测器需求的持续增加,本文开展了使用分子束外延方式在50mm×50mm(211)B碲锌镉衬底上外延碲镉汞材料技术的研究。通过对碲锌镉衬底改进湿化学腐蚀、碲锌镉衬底预处理、碲锌镉衬底缓冲层生长、碲锌镉基碲镉汞材料工艺开发等方面的研究,开发出了能够稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺。材料质量、工艺重复性良好,获得的碲锌镉基碲镉汞材料双晶衍射半峰宽(35±5 )arcsec,组分平均值为02160；碲镉汞薄膜材料厚度平均值为606μm。

来源：2022年第3期

《激光与红外》期刊编辑部

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