激光与红外

作者：杨航

单位：1.遵义师范学院工学院,贵州 遵义 563006；2.中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900；3.华中光电技术研究所 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430073；

关键词：磁流变抛光;曲率效应;误差传递;非球面;工艺特性

基金：国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项“巨型激光装置光学元件超精密制造系统示范工程”课题(No.2017ZX04022001)；贵州省科技计划项目(No.黔科合平台人才［2018］5784-10)；遵义市科技局科技研发项目(No.遵市科合HZ字［2020］21号)；贵州省基础研究计划项目(No.黔科合基础-ZK［2021］一般272)资助。

磁流变抛光目前已经可以用于平面、曲面等各类几何特征光学元件的最终表面修形与亚表面残余损伤修整,然而,工程实践中,曲率类元件往往难以获得和同级别平面元件相当的收敛精度与收敛效率。理论上由曲率元件曲率因素引入的磁流变抛光的不确定性无法被定量分析与评估。本文从磁流变抛光工艺特点出发,探讨了曲率特征和抛光工艺的依赖关系,进一步基于几何分析建立了曲率特征对各工艺环节的影响机制。包括:曲率对曲面误差展开、轨迹规划、去除函数获取、驻留时间求解以及机床误差容错能力等关键工艺环节的影响机制。最终,建立了面向曲率元件磁流变抛光的曲率效应评价理论。

来源：2021年第11期

《激光与红外》期刊编辑部

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