激光与红外

作者：冯晓宇

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：红外探测器;小间距;铟凸点

红外成像系统中,减小像元间距是目前重点发展的主题之一,为了实现小的像元间距,制备高精度均匀化的小型铟凸点阵列是关键之一。针对75μm像元间距,本文通过系列实验和分析,研究了不同打底层尺寸和铟柱尺寸的组合对铟凸点制备的影响,为制备高精度小型铟凸点阵列提供了良好的指导。

来源：2021年第6期

《激光与红外》期刊编辑部

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