激光与红外

作者：李乾坤

单位：1.清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084； 2.清华大学机械工程系,北京 100084；

关键词：激光技术;刻蚀;灰度改性;硅基微纳结构;微光学元件

硅基三维微纳结构在红外成像与探测方面具有重要的应用价值。然而,受加工技术的限制,硅基复杂面型三维微纳结构的制备仍然是一个难题。本文提出了利用刻蚀辅助激光灰度改性技术制备硅基三维微纳结构。利用激光改性制备的硅的氧化层作为刻蚀掩膜,经过刻蚀实现灰度图形向衬底的转移。研究发现,氧化层的抗刻蚀能力可以通过激光加工参数进行调控,例如,激光功率和扫描间距。通过编程化设计的局部调控的抗刻蚀氧化层图形,刻蚀后实现了台阶状、斜面及曲面复杂三维微结构的可控制备。另外,验证了该技术在特殊面型硅基微光学器件制备中的可行性。

来源：2021年第3期

《激光与红外》期刊编辑部

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