激光与红外

作者：杜洋

单位：上海航天设备制造总厂有限公司,上海 200245；

关键词：超快激光; 精密制造; 微纳结构; 装备

基金：国家自然科学基金青年基金项目(No.51705328)；上海市青年科技英才扬帆项目(No.17YF1408500)资助

超快激光以其超短的激光脉冲、超高功率密度、较低的烧蚀阈值、加工超精细及可实现冷加工等特点,近年来受到国际学术界和工程界的广泛关注。本文梳理了超快激光精密制造技术的发展历史,综述了超快激光精密制造技术在表面加工及三维加工领域的工艺研究及应用进展,并介绍了超快激光精密制造装备在国内外的研制情况,对今后超快激光精密制造技术研究的发展趋势进行了探讨和展望。

来源：2020年第12期

《激光与红外》期刊编辑部

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