激光与红外

北大核心,CA,JST,CSCD扩展版,WJCI

国内刊号：11-2436/TN

国际刊号：1001-5078

激光与红外杂志2020年第10期:10 μm小间距红外探测器的铟柱生长研究

发布日期:

作者：张鹏

单位：华北光电技术研究所,北京 100015；

关键词：红外探测器;铟柱;小间距

在10 μm小间距的条件下进行红外探测器的铟柱生长工艺,会得到铟柱高度不足的结果；本文针对这种情况,开展了小间距的铟柱生长研究,比较了在不同基片温度和蒸发速率条件下的铟柱高度,并分析了试验结果,得到了最优的生长工艺条件。

来源：2020年第10期

《激光与红外》期刊编辑部

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