激光与红外

作者：齐健

单位：1.江南大学理学院,江苏 无锡 214122；2.江苏省轻工光电工程技术研究中心,江苏 无锡 214122；3.浙江贝盛光伏股份有限公司,浙江 湖州 313000；

关键词：光学薄膜;电子束蒸发物理气相沉积;滤光片;半波孔

基金：国家自然科学基金项目(No.60908041);上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题(No.2012ADL03);江苏省研究生创新项目(No.SJLX16_0492) 资助

为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性(截止带波长为0.3～0.4 μm、0.8～1.1 μm,通带波长为0.4～0.8 μm),初始结构采用双截止膜系,可截止近紫外和近红外,在蓝宝石基底的一侧实现可见光高透的宽通带滤光片,选用TiO2和SiO2分别作为薄膜高、低折射率材料,来实现双波段截止的目的,薄膜的设计层数为42层,总厚度是3.6 μm,采用电子束蒸发物理气相沉积法来实现镀制,并通过分光光度计测试镀制样品的透射率,测试结果显示截止区(0.3～0.385 μm和0.824～1.1 μm),平均截止深度分别达到了0.029 %和0.127 %,通带0.405～0.788 μm波段的平均透过率达到97.68 %,通带半宽度HFWD为398 nm(402～800 nm),有效地抑制了“半波孔”现象出现,并具有双波段截止和高通带透过率的特点。在环境测试中:薄膜的稳定性良好,膜层间匹配度适宜。因此,该双波段截止透可见滤光片可用于某些极端的环境条件中。

来源：2019年第12期

《激光与红外》期刊编辑部

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