国内刊号:11-2436/TN
国际刊号:1001-5078
发布日期:
作者:林国画
单位:华北光电技术研究所,北京 100015;
关键词:集成偏振探测器;光刻;偏振对比度
集成式偏振红外焦平面探测器是红外探测器应用的新的发展方向,国内近几年开展了相关的研究工作,本文围绕集成式长波320×256碲镉汞偏振红外焦平面探测器的研制,叙述了从技术路线选择到偏振结构的设计、制备等方面开展的工作及阶段测试结果,这些工作为后续的研制打下了良好的基础。
来源:2019年第10期
《激光与红外》期刊编辑部
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