激光与红外

作者：王松林

单位：1.西安应用光学研究所,陕西 西安 710065;2.西安飞机工业(集团)有限责任公司,陕西 西安 710089；

关键词：光学薄膜,薄膜常数拟合,滤光膜

研究了一种新的研究薄膜光学参数的方法,在同一基片上沉积两种薄膜,可以同时对这两种薄膜材料进行参数拟合。通过材料实验与光谱测试,基于柯西公式拟合得到了两种薄膜在可见与近红外波段的光学参数。将获得的薄膜参数应用到透450～600、反650～800滤光膜的设计与制备中,结果表明,用该方法获取的薄膜材料参数具有较高的准确性。

来源：2019年第6期

《激光与红外》期刊编辑部

查看激光与红外杂志2019年第6期