激光与红外

作者：倪超

单位：苏州大学机电工程学院,江苏 苏州 215021；

关键词：飞秒激光;覆铜板;数值模拟;刻蚀;工艺优化;微细线路

基金：国家自然科学基金项目(No.51675360)；江苏省自然科学基金项目(No.BK20151194)；江苏省精密与微细制造技术开放基金资助项目；宁波市产业技术创新重大科技专项(No.2015B11036)资助

随着微电子技术飞速发展,电路板集成度的不断提高,产品研发周期的持续缩短,对于微细导电线路以及快速样板制作提出更迫切的需求。针对以上问题,本文采用飞秒激光进行覆铜板直接刻蚀的工艺研究,探索不同激光工艺参量(平均功率、扫描速度、扫描次数、离焦量、线间距)对刻蚀深度和底面粗糙度的影响规律。通过正交试验,探究各工艺参数对刻蚀深度和底面粗糙度的影响大小。结果表明:无论是以刻蚀深度还是以刻蚀粗糙度为加工质量的衡量指标,都是扫描次数的影响最大,扫描速度的影响最小。此外,通过综合平衡法得到最优工艺参数。利用飞秒激光冷加工和选择性刻蚀的特性,实现FR-4覆铜板表面线宽50 μm、线间距20 μm的微细线路高质量刻蚀加工。

来源：2019年第4期

《激光与红外》期刊编辑部

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